目前，关于PDMS. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- PDMS多层结构微阀的过程中，将PDMS直接旋涂、固化在硅片上，实现硅- PDMS薄膜直接键合，香港亲水处理，这种方法属于可逆键合，键合强度不高。在制作生物芯片时，利用氧等离子体分别处理PDMS和带有氧化层掩膜的硅基片，将其键合在一起。此方法实际上是PDMS与SiO2掩膜层的键合，但在硅表面由热氧化法制得的SiO2膜层与PDMS的键合效果并不理想。
利用氧等离子体表面处理，使PDMS与带有钝化层的硅片在室温常压下可以成功键合。在利用氧等离子体改性处理实现PDMS与其它基片键合的技术中，-般认为，在进行氧等离子体表面改性后，应立即将PDMS基片与盖片贴合，否则PDMS表面将很快恢复疏水性，从而导致键合失效，硅胶亲水处理，因此可操作工艺时间较短，一般为1 ~ 10min。而通常在需键合的PDMS基片和硅基片上都会带有相应的微细结构，键合前需用一定的时间进行结构图形的对准，因此，如何使PDMS活性表面的持续时间得以延长，成为保证键合质量的关键。
一、性质不同
1、亲水性材料：材料与水接触时能被水湿润的特性称为亲水性材料。
2、疏水性材料：该材料具有与水不能湿润的性质，当该材料的湿润角大于90时，称为疏水性材料。
二、特点不同
1、亲水性材料：分子具有极性基团，对水有很大的亲和力，能吸引水分子，或溶于水。由这些分子形成的固体材料的表面很容易被水润湿。
2、疏水性：在复合绝缘子行业中，疏水性又称润湿性，玻璃亲水处理，由复合绝缘子（硅橡胶）外绝缘表面张力决定，亲水处理试剂，表示水对复合绝缘子外绝缘的润湿能力。
三、判断方法不同
1、亲水性材料：当润湿角小于等于90度时，水分子之间的内聚力小于材料表面水分子之间的相互吸引。它是一种亲水性材料。
2、疏水性材料：当润湿角大于或等于90°时，材料表面水分子之间的内聚力大于水分子之间的相互吸引，为疏水性材料。
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