硅材料具有良好的化学惰性与热稳定性，基于微电子领域的加工技术，早用于制作微流控芯片。但是硅材料易碎，成本高，透光性差，电绝缘性能差及表面化学行为较为复杂，这些都大大限制了其在微流控芯片中的应用。石英和玻璃具有良好的电渗和优良的光学性质，其表面吸附和表面反应能力都有利于表面改性，但是价格相对较高。使用与硅片类似的光刻和表面改性技术可以将微结构转移到石英和玻璃上，加工工艺成熟。因此，玻璃材料近来被广泛应用于制作微流控芯片。然而，以玻璃和硅.为主要制作材料，其制作过程依赖标准光刻技术，由于成本高、工序复杂、易污染以及通道几何尺寸受限等缺点。
高分子聚合物材料种类多，加工成型方便，价格便宜，微阵列芯片，尤其是高聚物材料有良好的光学性质、化学惰性、电绝缘性和热性能等，使其在微流控芯片领域的应用具有得天独厚的优势。可用于制作微流控芯片的高聚物材料人致可分为三人类:热塑性聚合物、固化型聚合物和溶剂挥发型聚合物。目前，己有大量的高聚物材料被用于微流控芯片加工中，如聚酰胺(PA)、 聚对苯二甲酸酯(PBT)， 聚碳酸酯(PC)，聚酸甲酯(PMMA)和聚二硅氧烷(PDMS)等。
PMMA改性-聚酸甲酯(PMMA)俗称有机玻璃，是一种开发较早的热塑性塑料，微阵列芯片制作，具有的透明性、良好的力学性能、化学稳定性和耐候性，微阵列芯片厂家，易染色、易加工、外观优美。PMMA制品通常可分为浇铸板、挤出板和模塑料，其制品具有良好的透气性、防水性和耐侯性。其改性品种如纳米PMMA可提高耐热性，微阵列芯片市场，其强度超过普通PMMA。化学气相法是目前制备纳米材料的行之有效的方法，它使用气态原料在反应后生成物质的基本粒子．再凝聚成晶核，在加热区内长大成颗粒，进入低温区停止生长而制得。
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