即硅片表面必须由低能转化为高能表面。从A=r（SG）- r（SL）＞0式可以看出:完成上述转化的条件为或者使r（SG）.上升，或者r（SL）下降。由于清洗液大多为无机碱、酸的水溶液，知这时r（SL）.几乎不变。因此，的方法是改变r（SG）， 使之增加。由于结构完整的纯净硅表面r（SG）是固定的，要改变其r（SG），只能改变其表面结构。实际上，硅片经过清洗液洗后，疏水处理方法，表面Si大部分以O键为终端结构，即表面非定形SiOx结构，玻璃疏水处理，利用其高r（SG）值达到硅表面吸附水分子的效果。亲水处理后，疏水处理 图书，硅表面结构
一般带有极性基团的分子对水有较大的亲和能力，疏水处理，可以吸引水或者易溶解于水，橡胶制品中用量橡胶填料—轻钙就是含有极性基团的亲水性填料，轻钙与橡胶在混炼时都会产生负电荷，同性相斥，导致轻钙难以快速分散在橡胶中，氧化镁、氧化锌、硫酸钙等盐类填料都含有极性基团；陶土、云母粉、滑石粉、高岭土等无机填料虽然含有极性基团，不易被橡胶浸润，但是这些填料本身粒径较大、结构度较低，因此可以以较快的速度分散在橡胶中。白炭黑是浅色橡胶制品生产中常用的补强型填料，粒径小、结构度高、密度小、易产生静电，难以混入橡胶中。
目前，关于PDMS. 与硅基材料低温键合的方法多种多样。在制作硅- PDMS多层结构微阀的过程中，将PDMS直接旋涂、固化在硅片上，实现硅- PDMS薄膜直接键合，这种方法属于可逆键合，键合强度不高。在制作生物芯片时，利用氧等离子体分别处理PDMS和带有氧化层掩膜的硅基片，将其键合在一起。此方法实际上是PDMS与SiO2掩膜层的键合，但在硅表面由热氧化法制得的SiO2膜层与PDMS的键合效果并不理想。
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