以合成寡核苷酸探针为例，该技术主要步骤为：首先使支持物羟基化，并用光敏保护基团将其保护起来。每次选取择适当的蔽光膜（ mask ）使需要聚合的部位透光，氨基化处理多孔载玻片，其它部们不透光。这样，光通过蔽光膜照射到支持物上，受光部位的羟基解保护。因为合成所用的单体分子一端按传统固相合成方法活化，氨基化处理的原理，另一端受光敏保护基的保护，河北氨基化处理，所以发生偶联的部位反应后仍旧带有光敏保护基团。因此，每次通过控制蔽光膜的图案（透光与不透光）决定哪些区域应被活化，以及所用单体的种类和反应次序就可以实现在待定位点合成大量预定序列寡聚体的目的。
3.微珠芯片技术
微珠芯片技术(beadarray) 技术是一一种新的基因芯片技术，有可能成为今后基因芯片技术发展的方向。目前，微珠芯片技术在生命科学领域的用途主要集中在SNP及基因型分析、基因表达谱分析和蛋白组学研究三大领域。微珠芯片技术是在光导纤维技术基础上发展起.来的技术。在直径为3. 5mm的光纤束中，包含约50000跟光纤。
实际操作时需要注意的是，虽然共价偶联的方法优于物理吸附，但基于氨基和羧基的抗体固定方法仍具有一定程度的随机性，有时在Fab区（用于结合抗原）存在易于修饰的氨基/羧基，在与固体表面偶联后会造成抗体的失活。在抗体领域，抗体与的偶联同样存在上面所说的问题（由于抗体表面可能存在很多可修饰的氨基酸，不能确定连在哪个部位
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