在基片上制备微阵列(即高密度地固定生物分子于基片上)的过程是微阵列芯片的关键技术，发展非常迅速，相继出现了原位合成、预合成后钢针按触式点样、预合成后毛细管接触式点样、预合成后微泵喷涂等微阵列制备方法。这些方法在提高点样质量和点样效率、降低芯片成本等方面各有长有短。国际上一些大公司和研究机构，aminosilane产家，如BioRobotics公司、Cartesian公司、TeleChem Interna-tional Inc. Standford大学和生物芯片北京国家工程研究中心等，都在进行微阵列芯片的制备方法及制备系统的研发。 BioRobotics 公司开发的芯片制备系统和TeleChem International Inc 的微阵列制备工作头为各研究机构所普遍采用。
它是在基因探针的基础上研制出的，aminosilane是什么，所谓基因探针只是一段人工合成的碱基序列，在探针上连接一些基因芯片
可检测的物质，根据碱基互补的原理，利用基因探针到基因混合物中识别特定基因。它将大量探针分子固定于支持物上，然后与标记的样品进行杂交，通过检测杂交信号的强度及分布来进行分析。基因芯片通过应用平面微细加工技术和超分子自组装技术，aminosilane，把大量分子检测单元集成在一个微小的固体基片表面，可同时对大量的核酸和蛋白质等生物分子实现、快速、低成本的检测和分析。
2）用点样法固定在玻璃板上的DNA探针阵列，通过与荧光标记的靶基因杂交进行检测。这种方法点阵密度可有较大的提高，各个探针在表面上的结合量也比较一致，但在标准化和批量化生产方面仍有不易克服的困难。3）在玻璃等硬质表面上直接合成的寡核苷酸探针阵列，与荧光标记的靶基因杂交进行检测。该方法把微电子光刻技术与DNA化学合成技术相结合，什么是aminosilane，可以使基因芯片的探针密度大大提高，减少试剂的用量，实现标准化和批量化大规模生产，有着十分重要的发展潜力。
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